文献

J-GLOBAL ID：201002234061336986   整理番号：10A0491139

ポリ(ビフェニルテトラカルボキシルジアンヒドリド-パラフェニレンジアミン)ポリイミドターゲットを用いたRFスパッタリングにより作製した薄膜の吸着特性

Adsorption Properties of Thin Films Prepared by RF Sputtering with a Poly(biphenyltetracarboxylic dianhydride-paraphenylene diamine) Polyimide Target

著者 (8件)： IWAMORI Satoru (Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN) ,  YANO Satoshi (Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN) ,  SUGIMOTO Ryousuke (Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN) ,  UEMURA Akihiro (Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN) ,  UEMURA Akihiro (Industrial Res. Inst. Ishikawa, Kanazawa, JPN) ,  MATSUMOTO Hiroyuki (Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN) ,  MATSUMOTO Hiroyuki (Iwasaki Electric Co. Ltd., Saitama, JPN) ,  NODA Kazutoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 4,Issue 2  ページ： 04DK18.1-04DK18.5  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリ(ビフェニルテトラカルボキシルジアンヒドリド-パラフェニレンジアミン)(BPDA-PDA)ポリイミドターゲットを用いてRFスパッタリングにより石英結晶上に薄膜を堆積させた。水,エタノール,アセトン,アセトアルデヒド,トルエン,サリチル酸メチルに対する薄膜の吸着特性を水晶結晶微量天秤法を用いて評価し,薄膜の表面特性を特性化した。膜の表面構造,特に表面自由エネルギーは気体吸着特性に影響すると思われた。また,スパッタした薄膜上の分子量が低下すると吸着気体分子数が増加した。さらに,気体分子量はスパッタした薄膜の上部表面と内部に吸着すると思われた。薄膜上の分子の大きさが小さくなると吸着気体分子数が減少した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： RFスパッタリング ,  *薄膜成長 ,  自由エネルギー ,  表面構造 ,  表面性状 ,  吸着 ,  *特性 ,  分子量 ,  芳香族アミン ,  ジアミン ,  第一アミン
準シソーラス用語： *吸着特性 ,  分子吸着

分類 (1件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P)

物質索引 (2件)： BPDA ,  p-フェニレンジアミン

引用文献 (28件)：

• A. J. Perstin and Y. M. Pashnin: Appl. Surf. Sci.47(1991)115.
• N. lnagaki, S. Tasaka, and K. Hibi: J. Polym, Sci., Part A 30(1992)1425.
• A. Chenite, A. Selmani, and A. Yelon: J. Vac. Sci. Technol. A 12(1994)513.
• N. Inagaki, S. Tasaka, and K. Hibi: J. Adhes. Sci. Technol.8(1994)395.
• T. Miyashita, S. Iwamori, S. Fukuda, N. Fukuda, and K. Sudoh: Shinku 39(1996)11 [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (5件)： パラフェニレンジアミン ,  RFスパッタリング ,  作製 ,  薄膜 ,  吸着特性