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J-GLOBAL ID：201002234809746503   整理番号：10A0389937

MEMS応用のための薄い金属シートのマイクロモールドベースレーザ衝撃エンボス加工

Micromould based laser shock embossing of thin metal sheets for MEMS applications

著者 (5件)： LIU Huixia (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  SHEN Zongbao (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  WANG Xiao (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  WANG Hejun (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN) ,  TAO Maoke (School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 256  号： 14  ページ： 4687-4691  発行年： 2010年05月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ衝撃成形は,新しい材料プロセシング技術である。260μm×59μmの寸法をもつマイクロチャネルを,レーザ発生衝撃波を用いて,金属箔表面上に作製することに成功した。加工物は,ミクロンレベルの高い空間分解能を示した。一連の実験を行い,有限要素モデルを検証した。ANSYS/LS-DYNAにより行った動的分析及びANSYSにより行った静的分析を含む分析手続きを詳細に述べ,表面変形を予測するレーザ衝撃エンボス加工のシミュレーションを実現した。マイクロモールドベースレーザ衝撃エンボス加工は,三次元金属微細構造の正確で十分に制御された低コストの高い効率を実現することが期待できる。加えて,この技術は,単一パルスにより,複雑な3D微細構造を直接作製できる。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エンボス加工 ,  型 ,  *金属箔 ,  空間分解能 ,  変形 ,  シミュレーション ,  微細構造 ,  三次元 ,  MEMS ,  *マイクロチャネル ,  FEMモデル
準シソーラス用語： *レーザ衝撃エンボス加工 ,  マイクロモールド ,  金属シート ,  有限要素モデル ,  ANSYS

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  応用 ,  金属シート ,  衝撃 ,  エンボス加工