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J-GLOBAL ID：201002235124789737   整理番号：10A0510188

シリコンのヤング率とは何か?

What is the Young’s Modulus of Silicon?

著者 (3件)： HOPCROFT Matthew A. (Univ. California at Berkeley, CA, USA) ,  NIX William D. (Stanford Univ., CA, USA) ,  KENNY Thomas W. (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19  号： 2  ページ： 229-238  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 材料のヤング率(E)は,機械加工設計の主要パラメータであり,微小電子機械システム(MEMS)に使用される最も共通材料のシリコンは,材料特性が結晶格子に対する方位に依存する異方性結晶材料である。シリコン構造の設計と解析のために,E,ポアソン比と他の弾性量の異方性値について今まで充分記述されてきた。単一の等方性弾性量を要求する設計計算と解析式の選択は,その構造の方位と負荷タイプに依存した。シリコンの結晶構造は立方晶系対称性を有するため,直交形状と負荷をもつ素子の場合の計算は,その各方向に対し適切な弾性値を用いる限りかなり正確であった。Eに関する式の導関数を用いることにより,正確な弾性値を用いる効果を推測でき,大半の設計計算で,関心量の相対変化は,Eの相対変化と等しいかまたは小さかった。この差は,5%と小さい(Eに対し169GPaでなく160GPaを用いた場合)かまたは46%と大きい可能性がある(Eに対し130GPaでなく190GPaを用いた場合)。有限要素計算の場合,弾性の完全異方性記述の使用により,特にオフ角方位または非直線構造の場合,その結果の精度を顕著に向上することができ,コンピュータ計算を行う際,完全な弾性マトリクスを用いる必要がある。さらに,その正確なE値の使用は,MEMS設計者には受け入れられ易い。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *Young率 ,  弾性材料 ,  弾性係数 ,  *MEMS ,  Poisson比 ,  *剪断係数 ,  結晶方位 ,  *ウエハ【IC】 ,  異方性 ,  有限要素法 ,  シミュレーション

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (1件)： シリコン