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J-GLOBAL ID：201002235815670710   整理番号：10A0449103

ビッカース硬さ試験機を利用したDLC皮膜の密着性評価

Evaluation of Adhesion in DLC Film Using the Vickers Hardness Test

著者 (4件)： 白木尚人 (東京都市大 工) ,  関宏友 (東京都市大 大学院) ,  鈴木信夫 (千代田第一工業) ,  新国哲也 (交通安全研)
資料名： 材料試験技術  (Journal of Material Testing Research Association of Japan)
巻： 55  号： 2  ページ： 70-75  発行年： 2010年04月15日 
JST資料番号： S0909A  ISSN： 0285-2470  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC膜の実用化は,基板との密着性を定量的に評価することが重要である。既報で,ロックウェルCスケール硬さ試験を利用して,DLC膜の密着性簡易評価法を検討した。本文は,ビッカース硬さ試験機を利用するDLC膜の密着性評価法を検討した。供試材は,基板にSKD11を使用し,中間層として硬質炭化クロムを電気めっきにより被覆し,更に,DLC膜をイオンめっき法により2μm被覆した。その結果,ビッカース硬さ試験により導入した圧痕径は,スクラッチ試験による密着性パラメータと良好な相関性があり,ビッカース硬さ試験による密着性評価は有効と判断した。

シソーラス用語： *押込硬さ ,  *DLC膜 ,  *密着性 ,  クロム化合物 ,  層 ,  ダイヤモンド圧子 ,  圧痕 ,  工具鋼 ,  *イオンめっき ,  引かき試験
準シソーラス用語： SKD11 ,  Vickers硬さ ,  炭化クロム ,  中間層

分類 (3件)： 材料試験  (HB02020U) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (15件)：

• 千葉祐二, 市村博司: TiN被覆材料の残留応力に及ぼす基板表面粗さの影響Journal of the Ceramic Society of Japan 103〔2〕162-166.(1995)
• 池永勝, 野村博郎, 土屋文隆, 東谷仁志: 日本機械学会材料力学部門2003年春のシンポジウム講演論文集p. 166-171(2003)
• 加納眞: トライボロジストVol.47, P815(2002)
• 滝川浩史: 表面技術Vol.58, No.10, P572(2007)
• 森広行, 三井正法, 早川邦夫: 第119回表面技術協会講演論文集p. 224-225(2009)

タイトルに関連する用語 (4件)： DLC ,  皮膜 ,  密着性 ,  評価