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J-GLOBAL ID：201002235824458812   整理番号：10A0617193

CoPt/AlN多重層上のCoPt最上層の厚さ依存垂直磁気異方性

Thickness-Dependent Perpendicular Magnetic Anisotropy of CoPt Top Layer on CoPt/AlN Multilayer

著者 (3件)： YU Youxing (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  SHI Ji (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NAKAMURA Yoshio (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 46  号： 6  ページ： 1663-1666  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CoPt/AlN多層上に成長した高(111)配向テクスチャ構造CoPt層の磁気異方性について調べた。この多層構造を溶融石英基板上にスパッタ成長した後に,真空中500°Cでアニールした。CoPt最上層は,6nmの限界(最大)厚さ以内で垂直磁気異方性を示した。CoPt最上層の厚さが6nm以上である場合,厚さの増加とともに,CoPt最上層は徐々に磁気等方性に変化した。このCoPt最上層の厚さ依存磁気異方性は,面内格子パラメータと相関関係が認められた。さらに,CoPt最上層の保磁力は,下層のCoPt/AlN多層の保磁力の約3倍である,1.7kOeであった。この保磁力の差により,垂直ヒステリシスループ(つまり,CoPt最上層と下層のCoPt/AlN多層間の逆平行磁化配列)上に水平段差部を生じた。構造分析結果から,CoPt最上層は一定厚さで引張り応力を生じたが,その厚さが6nm以上である場合,面内格子パラメータは厚さが増すとともに減小し始めることから,CoPt最上層は,弾性エネルギーに耐えることができずに,このエネルギーを解放するために縮小するとわかった。この厚さによる磁気異方性と面内格子パラメータの同時変化は,磁気弾性効果による弾性歪みと相関関係がある。この弾性歪み制御機構により垂直磁気トンネル接合を得るための逆平行配列の新規実現方法を提案した。

シソーラス用語： コバルト合金 ,  白金含有合金 ,  二元合金 ,  窒化アルミニウム ,  多層構造 ,  *垂直磁気異方性 ,  スパッタリング ,  保磁力 ,  磁気歪材料 ,  磁歪 ,  *磁性材料 ,  磁気弾性効果 ,  *トンネル接合 ,  膜厚 ,  依存性

分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： AlN ,  多重層 ,  最上層 ,  垂直磁気異方性