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J-GLOBAL ID：201002235898504450   整理番号：10A0497304

モノリシック炭化物由来カーボン膜によるミクロスーパーキャパシタ

Monolithic Carbide-Derived Carbon Films for Micro-Supercapacitors

著者 (5件)： CHMIOLA John (Drexel Univ., PA, USA) ,  LARGEOT Celine (Univ. Paul Sabatier de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  TABERNA Pierre-Louis (Univ. Paul Sabatier de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  SIMON Patrice (Univ. Paul Sabatier de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  GOGOTSI Yury (Drexel Univ., PA, USA)
資料名： Science  (Science)
巻： 328  号： 5977  ページ： 480-483  発行年： 2010年04月23日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiO₂/ケイ素基板上にスパッタリングにより炭化チタン薄膜を形成し,塩素処理によりチタンを塩化チタンとしてエッチングし表面を多孔質の炭化物由来カーボン(CDC)膜に変え,マスク下に金電極パターンをスパッタ後CDCを酸素プラズマエッチングして電極アレイを形成した。電解質溶液との組合せによりスーパーキャパシタ特性を調べた。シンタリングにより作製した炭化チタン板の塩素処理によりTiC-CDC(1~200μm)積層膜に変え,テフロン板,電解質+セパレータ膜と組み合わせて電気化学セルを作製した。走査電子顕微鏡,RamanスペクトルによりCDCが多孔質の非晶質炭素であることを確かめた。サイクリックボルタンメトリーにより電気化学的特性を調べた。体積あたり容量は2μm膜で180F/cm³に達した。CDC膜のクラックについて考察した。

シソーラス用語： *炭化チタン ,  *エッチング ,  塩素 ,  塩化チタン ,  多孔質体 ,  *炭素電極 ,  金電極 ,  パターン形成 ,  プラズマエッチング ,  電極 ,  電解質溶液 ,  電力コンデンサ ,  多層膜 ,  走査電子顕微鏡 ,  非晶質 ,  サイクリックボルタンメトリー ,  亀裂 ,  *炭素 ,  *薄膜
準シソーラス用語： カーボン電極 ,  クラック ,  スーパーキャパシタ ,  積層膜 ,  炭化物由来カーボン ,  炭素膜 ,  電極アレイ

分類 (4件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 炭化物 ,  カーボン膜 ,  スーパーキャパシタ