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J-GLOBAL ID：201002235899334582   整理番号：10A1607720

アクティブスクリーンプラズマ窒化特性へのスクリーンと試料との距離による影響

Effect of the distance between screen and sample on active screen plasma nitriding properties

著者 (5件)： NISHIMOTO Akio ,  NAGATSUKA Kimiaki ,  NARITA Ryota ,  NII Hiroaki ,  AKAMATSU Katsuya
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 1  ページ： S365-S368  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近アクティブスクリーンプラズマ窒化(ASPN),スルーケージプラズマ窒化及び陰極ケージプラズマ窒化が注目されている。これらのプロセスではプラズマがケージの上で生成し,直接試料の上で生成しないためエッジエフェクトが完全に除去される。しかし,スクリーンと試料との距離によるASPN特性への影響に関する報告は少ない。本研究の目的は低炭素鋼S15Cとオーステナイトステンレス鋼SUS304の304スクリーンを用いたASPNによる窒化へのこの影響を調べることである。試料は25%N₂+75%H₂中600Pa,723Kで18ks処理した。スクリーンと試料との距離は10,20,30,40及び50mmで変化させた。窒化した試料は光学顕微鏡による外観観察と表面粗さ,走査型電子顕微鏡,X線回折及び微小硬さ試験で調べた。窒化後,正規分布の多面体粒子がほぼ全てのASPN処理した試料表面に認められた。試料表面の粒子はスクリーンと試料との距離が減少すると大きくなった。更に,表面硬化層の厚さはスクリーンと試料との距離が減少すると増加した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオン窒化 ,  *スクリーン ,  低炭素鋼 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  オーステナイト鋼 ,  *窒化層 ,  表面粗さ ,  微小硬さ ,  *間隔 ,  層厚 ,  S15C ,  SUS304 ,  *改変
準シソーラス用語： *アクティブスクリーンプラズマ窒化

分類 (1件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (3件)： スクリーン ,  プラズマ窒化 ,  試料