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J-GLOBAL ID：201002236146003423   整理番号：10A0286933

大面積誘導結合プラズマシステム用のフェライト強化U型内部アンテナ

Ferrite-Enhanced U-Shaped Internal Antenna for Large-Area Inductively Coupled Plasma System

著者 (4件)： KIM Kyong Nam (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  LIM Jong Hyeuk (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  LIM Woong Sun (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  YEOM Geun Young (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 38  号： 2  ページ： 133-136  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超大口径の平面状プラズマ源用に,2MHzで動作するNi-Znフェライトで強化したU字型内部誘導アンテナを開発した。放電とプラズマの特性を調べ,フェライトを使用しない13.56MHz動作アンテナと性能を比較した。フェライトにより磁場が強められ,パワー伝送効率が向上し,アンテナインピーダンスとRF平均電圧は低下した。3台のU字型アンテナを平行に並べ,40mtorrのAr/O₂(7:3)混合気体を2MHzで放電させ,フォトレジストのエッチング均一性を観察した。基板サイズ2300mm×2000mmにおいて,不均一性は11%以下であった。

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  プラズマエッチング ,  プラズマ処理 ,  フェライト ,  *アンテナ ,  *誘導結合プラズマ ,  均一性 ,  大口径

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大面積 ,  誘導結合プラズマ ,  フェライト ,  強化 ,  U型 ,  内部アンテナ