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J-GLOBAL ID：201002236266092071   整理番号：10A0334046

ナノ粒子リソグラフィーで作製した銀ナノ粒子配列のイオンエッチングと熱アニーリングを経た表面プラズモン共鳴の同調

Surface Plasmon Resonance Tuning of Silver Nanoparticle Array Produced by Nanosphere Lithography Through Ion Etching and Thermal Annealing

著者 (5件)： BAEK Kwang Hyun (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Jung Hoon (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Kil Bok (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  AHNN Hyung Soo (Hanyang Univ., Seoul, KOR) ,  YOON Chong Seung (Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 5  ページ： 3118-3122  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自己組織化ポリスチレン(PS)ナノ粒子テンプレートの反応性イオンエッチング(RIE)とAg粒子配列のポストアニーリングによって,ナノ粒子リソグラフィー(NSL)で作製したAgナノ粒子配列の大きさが変化した。改良型NSLによって,1cm²より大きい領域に広がったAgナノ粒子の巨視的二次元秩序配列を達成できた。Agナノ粒子からの表面プラズモン共鳴(SPR)の減衰最大値に対応した波長を,PSテンプレートのRIEによって体系的に同調させた。ポストアニーリングによって,Agナノ粒子の形状変化を誘導し,SPRの付加同調を達成した。PSマスクのRIEと熱アニーリングによって,SPRが全可視スペクトルにわたって同調できることから,局部的なSPRスペクトルを表示するために使用できる可能性がある。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  リソグラフィー ,  *銀 ,  イオンエッチング ,  熱処理 ,  *プラズマ共鳴 ,  RIE【エッチング】 ,  アニーリング【現象】 ,  *配列 ,  ポリスチレン ,  鋳型効果
準シソーラス用語： 熱アニーリング ,  *表面プラズモン共鳴 ,  ポストアニーリング

分類 (1件)： 固体プラズマ  (BM02160W)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ粒子リソグラフィー ,  作製 ,  銀ナノ粒子 ,  イオンエッチング ,  熱アニーリング ,  表面プラズモン共鳴 ,  同調