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J-GLOBAL ID：201002236771828821   整理番号：10A1542814

ナノパターン形成法からのポリマ薄膜粘度測定

Thin polymer films viscosity measurements from nanopatterning method

著者 (4件)： LEVEDER Tanguy (CEA, LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, F38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  LANDIS Stefan (CEA, LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, F38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  CHAIX Nicolas (CEA, LETI, Minatec, 17 rue des Martyrs, F38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  DAVOUST Laurent (Microfluidics, Interfaces and Particles Group, CNRS-LEGI, BP53, 38041 Grenoble, FRA)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： 1251  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ範囲が数十nmから数百nmで,分子量が27.5kg mol^-1のポリスチレン薄膜について,ナノインプリントリソグラフィー(NIL)技法を用いてパターン形成を行った。ナノスケールの特徴を含む剛いシリコンスタンプを,スピンコーティングしたポリスチレン薄膜にプリントした。次に,これらパターンをガラス転移温度より高温でアニールし,トポグラフィーの粘性リフロー(reflow)のキャラクタリゼーションを行った。初期段階で,非常に小さいアスペクト比および振幅/波長比のインプリントされたナノスケールパターンを与えるように,また,インプリントの間またはリフローのコースの間に,孔の核形成を回避するように,特に注意を払った。これによって,著者らは,線形粘度安定性モデルから,トポグラフィーデータを,高い正確度で処理することができた。空間分解能1nm超の原子間力顕微鏡法測定を用いて,平坦または階段状形状のキャラクタリゼーションを行った。パターンリフローの初期段階の機械測定は,通常用いられている回折法と違って,なんらの仮定も無しに直接アクセスできた。著者らの結果は,パターンリフローの最初の段階さえ,単純な粘性効果に駆動されること,通常,実験法則に従うと考えられている緩和動力学は,それよりも複雑であり得ること,を明らかに示した。本論文は,NIL過程が,レジスト超薄膜に対する粘度測定に対して使用できることも示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *高分子薄膜 ,  *粘度 ,  *パターン形成 ,  計測 ,  *ポリスチレン ,  *リソグラフィー ,  ケイ素 ,  スピンコーティング ,  焼なまし ,  トポグラフィー【形態】 ,  キャラクタリゼーション ,  形状効果 ,  アスペクト比 ,  緩和現象 ,  動力学 ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  空間分解能
準シソーラス用語： *ナノインプリントリソグラフィー ,  *ナノパターン形成

分類 (3件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノパターン形成 ,  ポリマ薄膜 ,  粘度測定