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J-GLOBAL ID：201002237467390115   整理番号：10A0942120

高強度Arクラスタイオンビーム装置の開発

Development of high-intensity Ar cluster ion beam equipment
著者 (7件)：
YAMANOBE T.

YAMANOBE T. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
YAMAMOTO Y.

YAMAMOTO Y. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
ICHIKI K.

ICHIKI K. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
NINOMIYA S.

NINOMIYA S. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
SEKI T.

SEKI T. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
AOKI T.

AOKI T. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について

, 
MATSUO J.

MATSUO J. について

(Kyoto Univ., JPN)

Kyoto Univ., JPN について


資料名：
Annual Report of Quantum Science and Engineering Center  (Annual Report of Quantum Science and Engineering Center)

Annual Report of Quantum Science and Engineering Center について


巻： 12  ページ： 42-43  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： L6689A  ISSN： 1345-0700  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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有機化合物の分析プローブとして期待されている気体クラスタイオンビーム(GCIB)装置の開発について述べた。有機試料の画像化において重要なビーム径とビーム電流密度に着目してGCIB装置を開発した。通常の装置よりも15倍も大きいArイオンビーム電流強度(150μA/cm2)を達成した。
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*イオンビーム

イオンビーム について

, 
電流密度

電流密度 について

, 
有機化合物

有機化合物 について

, 
*実験装置

実験装置 について

, 
アルゴンビーム

アルゴンビーム について

, 
イオン源

イオン源 について


準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*クラスターイオンビーム

クラスターイオンビーム について


分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
電子ビーム,イオンビーム 
(BD02030F)

電子ビーム,イオンビーム について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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高強度

高強度 について

, 
Ar

Ar について

, 
クラスタイオンビーム

クラスタイオンビーム について

, 
開発

開発 について


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