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J-GLOBAL ID：201002238547600206   整理番号：10A1147009

超音波振動を利用した非接触ハンドリング装置によるフラットパネル基板の搬送(第3報)-基板に作用する力のつり合いを考慮した把持力に関する数値解析-

著者 (2件)： 渡邉拓 (長岡技科大 大学院) ,  磯部浩已 (長岡技科大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M34  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,FPD等の基板部品を非接触で搬送する技術の開発が望まれている。本研究で提案する装置では空気静圧力によって浮上させた基板上方に超音波たわみ振動ステータを配置し,基板とステータの間の空気膜に発生する粘性力と空気静圧力のつり合いによって基板を把持し搬送する。本報では薄膜近似した空気膜の圧力分布の数値解析によって把持力を計算し,実験値と比較することで把持力の発生理論の妥当性を検証した。(著者抄録)

シソーラス用語： 超音波振動 ,  *装置 ,  *運搬 ,  *基板 ,  力 ,  モデル ,  膜 ,  圧力分布 ,  静圧 ,  固定子 ,  数学モデル ,  数値解析 ,  性質
準シソーラス用語： *非接触ハンドリング装置 ,  *フラットパネル基板 ,  搬送 ,  把持力 ,  非接触 ,  理論モデル ,  空気膜 ,  空気静圧力 ,  超音波たわみ振動ステータ ,  妥当性 ,  粘性力

分類 (2件)： コンベヤ  (QE01030Q) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 超音波振動 ,  非接触 ,  ハンドリング装置 ,  フラットパネル ,  力 ,  つり合い ,  把持力 ,  数値解析