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J-GLOBAL ID：201002238883625853   整理番号：10A0823326

光ファイバの微視的に平坦なテルル酸塩ガラス表面の多段階エッチング工程

Multistage etching process for microscopically smooth tellurite glass surfaces in optical fibers

著者 (4件)： ZHANG Aidong (Dep. of Physics and Center for Optical Technologies, Lehigh Univ., Bethlehem, Pennsylvania 18015) ,  LIN Aoxiang (Dep. of Physics and Center for Optical Technologies, Lehigh Univ., Bethlehem, Pennsylvania 18015 and State Key Lab. ...) ,  WANG Jau-sheng (Dep. of Physics and Center for Optical Technologies, Lehigh Univ., Bethlehem, Pennsylvania 18015) ,  TOULOUSE Jean (Dep. of Physics and Center for Optical Technologies, Lehigh Univ., Bethlehem, Pennsylvania 18015)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 4  ページ： 682  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 組成が75TeO₂-20ZnO-5Na₂O(TZN)のテルル酸塩ガラス塊試料を溶植急冷法で作製した。このテルル酸塩ガラスから造った光ファイバプリフォームの表面品質を改善するために,多段階エッチング工程を開発した。連続したエッチング処理とTZNガラスの表面粗さの関係を原子間力顕微鏡を用いて調べた。その結果,この多段階エッチング法がこのテルル酸塩ガラスの表面平坦性を基準の石英ガラススライドのものと同程度の水準まで改善することを示した。これに対応する化学的微細機構と基礎を論じ,原子間力顕微鏡により確認した。本結果は多成分の軟質ガラス繊維や素子の開発に役立つ。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光ファイバ ,  *ガラス ,  *エッチング ,  表面粗さ ,  電子顕微鏡観察 ,  ガラス繊維
準シソーラス用語： *テルル酸塩ガラス ,  テルライトガラス

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光ファイバ ,  テルル酸塩 ,  ガラス ,  段階 ,  エッチング工程