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J-GLOBAL ID：201002241032126081   整理番号：10A0330509

燃焼火炎により合成したダイヤモンド薄膜の電気的特性

Electrical characteristic of diamond film synthesized by combustion flame

著者 (3件)： OKUMURA Yukihiko (Dep. of Control Engineering, Maizuru National Coll. of Technol., Shiroya 234, Maizuru 625-8511, JPN) ,  KANAYAMA Kouichi (Dep. of Control Engineering, Maizuru National Coll. of Technol., Shiroya 234, Maizuru 625-8511, JPN) ,  SHOGAKI Kei-ichi (Dep. of Control Engineering, Maizuru National Coll. of Technol., Shiroya 234, Maizuru 625-8511, JPN)
資料名： Combustion and Flame  (Combustion and Flame)
巻： 157  号： 6  ページ： 1052-1059  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： C0104A  ISSN： 0010-2180  CODEN： CBFMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,著者らは燃焼火炎により合成したダイヤモンド薄膜の電気的特性を明らかにし,及びその結果としての電子デバイス応用における適切なダイヤモンド薄膜の合成を試みた。薄膜が非晶質炭素を含む場合に,電気抵抗(体積抵抗)は減少する。すなわち,ダイヤモンド薄膜の電気特性はより悪くなる。ダイヤモンド薄膜中の非晶質炭素の含有量を減少させるために,著者らは二つのパラメータ:最適当量比及び最適水素添加比率を検出する方法を利用した。これらの方法は非晶質炭素を効果的に減少させることができた。それによって,薄膜の電気的特性を改善するための最適合成に影響を及ぼす因子を系統的に変化させた。著者らは優れた電気的特性及び室温において高い電気抵抗(10¹⁰~10¹⁸Ωm)を持つ,高品質のダイヤモンド薄膜を製造する方法の開発に成功した。この燃焼火炎により合成したダイヤモンド薄膜に関して,制御された電気的性質(DC)の可能性について本論文で示し,説明し,及び立証した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 炭素材 ,  *ダイヤモンド ,  *アルキン ,  *燃焼合成 ,  火炎 ,  比率 ,  水素化 ,  *薄膜 ,  *電気抵抗 ,  電気的性質 ,  固体素子
準シソーラス用語： 水素添加 ,  電子デバイス ,  当量比 ,  燃焼火炎 ,  *非晶質炭素

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  燃焼一般  (XE04010W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (3件)： 燃焼火炎 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  電気的特性