文献

J-GLOBAL ID：201002241307764776   整理番号：10A0594080

アクチノメトリー法および第1正帯バンドスペクトルの減算による窒素プラズマ中の窒素解離度の測定

Measurement of Nitrogen Dissociation Degree of Nitrogen Discharge Plasma by Actinometry Method with Subtraction of First Positive Band Spectrum

著者 (6件)： 赤塚洋 (東京工大) ,  市川陽亮 (東京工大) ,  桑野慧 (東京工大) ,  坂本武士 (東京工大) ,  根津篤 (東京工大) ,  松浦治明 (東京工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-10  号： 9.11-14  ページ： 23-28  発行年： 2010年05月07日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ波放電窒素プラズマで,アクチノメトリー法による窒素解離度測定では窒素の原子スペクトルと窒素分子の第一正帯(1PS)バンドスペクトルが重なるため容易ではない。1PSバンドスペクトルの形状を振動温度及び回転温度の関数として計算する手法を,選択規則で許されるすべての許容遷移にわたり,対称反対称の選択規則も考慮して重みをつけて,スペクトルの総和をとることにより確立した。これにより1PSスペクトルを理論フィッティングして実験スペクトルから差し引き窒素原子スペクトル線の抽出に成功し,アクチノメトリー法で窒素解離度を求めることができた。

シソーラス用語： マイクロ波放電 ,  気体放電 ,  窒素 ,  *プラズマ分光 ,  発光分光法 ,  *解離 ,  光量測定 ,  分子スペクトル ,  スペクトルバンド ,  原子スペクトル ,  雑音除去
準シソーラス用語： スペクトル減算 ,  スペクトル理論計算 ,  解離度 ,  振動温度回転温度フィッティング ,  第一正帯バンドスペクトル ,  *窒素プラズマ ,  窒素解離度

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (15件)：

• 窒素中における放電とそのプラズマプロセスへの応用調査専門委員会 編:「窒素の放電・プラズマが見せる多様性と最新応用」, 電気学会技術報告, 第1061号, 電気学会, 東京 (2006).
• 日本材料科学会 編:「表面処理と材料」, 裳華房, 東京 (1996).
• T. G. Spiro and W. M. Stigliani: “Environmental Science in Perspective”, State University of New York Press, New York (1980).
• E. M. Silverman: “Space Environment Effect on Spacecraft: LEO Materials Selection Guide”, National Aeronautics and Space Administration Langley Research Center, NASA Contractor Report 4661, Part 1(1995).
• V. Guerra and J. Loureiro: “Self-consistent electron and heavy-particle kinetics in a low-pressure N₂-O₂ glow discharge”, Plasma Sources Sci. Technol., Vol.6, pp. 373-385(1997).

タイトルに関連する用語 (3件)： 減算 ,  窒素プラズマ ,  窒素