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J-GLOBAL ID：201002242994181110   整理番号：10A0843458

薄膜キャパシタの可変性に及ぼす金属/ペロブスカイト型酸化物界面の影響

The influence of metal/perovskite-type oxide interfaces on tunability of thin film capacitors

著者 (4件)： HORIUCHI Naohiro (The Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  HOSHINA Takuya (The Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  TAKEDA Hiroaki (The Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  TSURUMI Takaaki (The Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 118  号： 1380  ページ： 664-668 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ペロブスカイト型酸化物を有する金属/絶縁体/金属型薄膜のキャパシタンス-電圧特性に及ぼす界面の影響を予測できる計算モデルを提案した。上部電極がPt,Au,Agのチタン酸バリウムストロンチウム薄膜キャパシタのキャパシタンス-電圧測定結果を記述するシミュレーションに成功した。可変性の電極依存性は電極金属の仕事関数に由来することを見出した。シミュレーションモデルは,金属/ペロブスカイト型酸化物接合の誘電特性を説明するために適用したSchottkyモデルに基づいた。この改良Schottkyモデルでは,誘電率の電場依存性とペロブスカイト型酸化物のバンドギャップに位置する金属から欠陥状態への電子の逆流を考慮した。この流れは界面において負の荷電空間を形成し,薄膜キャパシタの電気的性質に影響を与えた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜コンデンサ ,  容量電圧特性 ,  計算モデル ,  界面 ,  表面構造 ,  多層構造 ,  金属 ,  電極材料 ,  白金電極 ,  金電極 ,  電極 ,  シミュレーションモデル ,  可変性 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  金属酸化物 ,  誘電性 ,  半導体金属接合 ,  誘電率 ,  電場効果 ,  バンドギャップ ,  *電気的性質 ,  ストロンチウム化合物 ,  チタン酸塩 ,  バリウム化合物 ,  チタン酸ストロンチウム ,  ドーピング ,  ニオブ ,  依存性
準シソーラス用語： 界面構造 ,  銀電極 ,  ショットキー接合 ,  チタン酸バリウムストロンチウム ,  膜厚依存性

分類 (1件)： LCR部品  (NA05030D)

引用文献 (23件)：

• 1) N. Setter, D. Damjanovic, L. Eng, G. Fox, S. Gevorgian, S. Hong, A. Kingon, H. Kohlstedt, N. Y. Park, G. B. Stephenson, I. Stolitchnov, A. K. Taganstev, D. V. Taylor, T. Yamada and S. Streiffer, J. Appl. Phys., 100, 051606 (2006).
• 2) M. Dawber, K. M. Rabe and J. F. Scott, Rev. Mod. Phys., 77, 1083–1130 (2005).
• 3) J. D. Baniecki, R. B. Laibowitz, T. M. Shaw, K. L. Saenger, P. R. Duncombe, C. Cabral, D. E. Kotecki, H. Shen, J. Lian and Q. Y. Ma, J. Eur. Ceram. Soc., 19, 1457–1461 (1999).
• 4) R. Plonka, R. Dittmann, N. A. Pertsev, E. Vasco and R. Waser, Appl. Phys. Lett., 86, 202908 (2005).
• 5) O. Auciello, S. Saha, D. Y. Kaufman, S. K. Streiffer, W. Fan, B. Kabius, J. Im and P. Baumann, J. Electroceram., 12, 119–131 (2004).

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜キャパシタ ,  可変性 ,  ペロブスカイト ,  酸化物 ,  界面