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J-GLOBAL ID:201002243153615767   整理番号:10A0426421

シラン還元法により合成された銀ナノ粒子を利用した配線材料の開発

著者 (6件):
資料名:
巻: 90th  号:ページ: 921  発行年: 2010年03月12日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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還元剤としてヒドロシラン類を用いることで,高濃度条件で銀ナノ粒子を合成できることを見いだした。合成した銀ナノ粒子をバインダー樹脂等と混合し配線用銀ペーストを調製した。200°Cで熱処理を行うと6μΩcmの抵抗率を示す配線材料となることが分かった。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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無機化合物一般及び元素  ,  導体材料 
タイトルに関連する用語 (5件):
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