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J-GLOBAL ID：201002243620571027   整理番号：10A1617751

スクリーン印刷したPZT厚膜の三軸MEMS加速度計

Triaxial MEMS accelerometer with screen printed PZT thick film

著者 (6件)： HINDRICHSEN Christian C. (Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK) ,  ALMIND Ninia S. (Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK) ,  BRODERSEN Simon H. (Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK) ,  LOU-MOLLER Rasmus (InSensor A/S, Kvistgaard, DNK) ,  HANSEN Karsten (Ferroperm Piezoceramics A/S, Kvistgaard, DNK) ,  THOMSEN Erik V. (Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK)
資料名： Journal of Electroceramics  (Journal of Electroceramics)
巻： 25  号： 2/4  ページ： 108-115  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W1123A  ISSN： 1385-3449  CODEN： JOELFJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高い共鳴周波数の加速度計は厚膜を必要とする。薄膜系加速度計に比べてより高い電圧感度を示す加速度計としてスクリーン印刷したPZT厚膜を用いた三軸MEMS加速度計の設計,製造法について検討し,特性評価した。Siビーム厚さ20μm,ビーム幅600μm,ビーム長さ800μm,PZT膜厚30μmとした。一定周波数2kHzで加速度を0.5~6gの範囲で変えて垂直方向と水平方向の感度を調べた。その結果,垂直方向と水平方向の電荷感度は各々0.0260pC/gと0.0053pC/gで,垂直方向と水平方向の電圧感度は各々0.31mV/gと0.062mV/gであった。垂直方向と水平方向の共鳴周波数をFFTスペクトルから測定した結果,各々11kHzと23kHzであった。

シソーラス用語： *加速度計 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *厚膜 ,  スクリーン印刷 ,  感度 ,  垂直 ,  水平 ,  共振周波数 ,  MEMS

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (6件)： スクリーン印刷 ,  PZT ,  厚膜 ,  三軸 ,  MEMS ,  加速度計