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J-GLOBAL ID：201002243775010382   整理番号：10A1060904

リフロー法によるマイクロレンズの動的形成:プロセス製造の数値シミュレーションおよび実験的研究

Dynamical formation of microlenses by the reflow method: numerical simulation and experimental study of the process fabrication

著者 (4件)： AUDRAN Stephanie (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  MORTINI Benedicte (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  FAURE Benoit (STMicroelectronics, Crolles, FRA) ,  SCHLATTER Guy (Univ. de Strasbourg, Strasbourg, FRA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 9  ページ： 095008,1-9  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロレンズは通常光学的相互結合のためのファイバ接合および小型化された化学検出システムにおいて用いられる。画像システムでは,CCDあるいはCMOSイメージセンサの表面上のマイクロレンズアレイの存在は入射光を画素の感光性領域上へ焦点を結ぶのに用いられる。この論文では,マイクロレンズ形成の動力学を研究し,マイクロレンズがその最初の形状(光学リソグラフィの点)から最終形状(丸まったマイクロレンズ)までのNavier-Stokes方程式に基づくモデルを提供する。このモデルはベーキング時間とともに架橋結合により発生する粘性と同時に表面張力の効果も考慮している。動的モデルの結果は,マイクロレンズはその最終形状を達成する前に種々の中間ステップを経由することを示す。それ故,マイクロレンズの最終形状はレジストパターンの初期の容積あるいはアスペクト比にのみ依存するのではない。

シソーラス用語： *マイクロレンズ ,  構成 ,  リフロソルダリング ,  *シミュレーション ,  動力学 ,  Navier-Stokes方程式 ,  粘性 ,  界面張力
準シソーラス用語： *リフロ法 ,  数値シミュレーション ,  *動的形成 ,  表面張力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： リフロー法 ,  マイクロレンズ ,  プロセス ,  数値シミュレーション ,  実験的研究