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J-GLOBAL ID：201002243837467309   整理番号：10A0340076

選んだ炭化水素とTiO₂表面との電子誘起相互作用:極端紫外リソグラフィーとの関連性

Electron-induced interaction of selected hydrocarbons with TiO₂ surfaces: the relevance to extreme ultraviolet lithography

著者 (4件)： YAKSHINSKIY B V (State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  ZALKIND S (State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  BARTYNSKI R A (State Univ. New Jersey, NJ, USA) ,  CAUDILLO R (Intel Corp., OR, USA)
資料名： Journal of Physics. Condensed Matter  (Journal of Physics. Condensed Matter)
巻： 22  号： 8  ページ： 084004,1-8  発行年： 2010年03月08日 
JST資料番号： B0914B  ISSN： 0953-8984  CODEN： JCOMEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 電子遷移 ,  *酸化チタン ,  フォトリソグラフィー ,  電子ビーム ,  *昇温脱離 ,  X線光電子スペクトル ,  表面反応 ,  電子照射 ,  *炭素 ,  ルチル型結晶
準シソーラス用語： *EUVリソグラフィー ,  *TPD【脱着】

分類 (1件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 炭化水素 ,  TiO2 ,  電子 ,  誘起 ,  相互作用 ,  極端紫外 ,  リソグラフィー ,  関連性