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J-GLOBAL ID：201002244881342021   整理番号：10A0288218

ディジタル可変共振周波数同調をもつシリコン魚骨型MEMS共振器

Silicon Fishbone-Shaped MEMS Resonator with Digitally Variable Resonant-Frequency Tuning

著者 (3件)： TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., JPN) ,  MAKITA Sho (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 5  号： 2  ページ： 164-170  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ディジタル的に可変同調の特性をもつシリコン魚骨型MEMS共振器の設計,製作,および特性について述べた。共振器の主ビームは,短いビームの曲げから生じるモーメントにより振動した。短いビームと励振電極との重なりを大きくすることにより,共振器の変位はより大きくなった。励起電極の異なる集合を選択することにより,最大変位振幅に対応する主ビームの共振周波数が変化した。その測定値は,85.5,223,および400kHzであり,シミュレーションと3%以下の誤差で一致した。真空中で測定したQ値は10000以上であった。

シソーラス用語： 可変性 ,  共振周波数 ,  同調 ,  ケイ素 ,  *MEMS ,  *共振器 ,  周波数帯 ,  マルチバンド
準シソーラス用語： 周波数同調

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (12件)：

• NGUYEN, CT-C. MEMS technology for timing and frequency control. IEEE Transactions on Ultrasonic, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2007, 54, 2, 251-270
• WANG, K. VHF free-free beam high-Q micromechanical resonators. Journal of Microeletromechanical Systems. 2000, 9, 3, 347-360
• CLARK, JR. High-Q UHF micromechanical radial-contour mode disk resonators. Journal of Microeletromechanical Systems. 2005, 14, 6, 1298-1310
• KAAJAKARI, V. Square-extension mode single-crystal silicon micromechanical RF-resonator. Digest of the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, 2003. 2003, 951-954
• MAKITA, S. Silicon fishbone-shaped resonant-frequency-tunable MEMS resonator. Digest of 2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Kyoto. 2007, 500-501

タイトルに関連する用語 (6件)： ディジタル ,  可変 ,  共振周波数 ,  同調 ,  シリコン ,  MEMS共振器