文献

J-GLOBAL ID：201002245260674221   整理番号：10A1542900

ナノインプリントリソグラフィーと制御した脱湿潤を組合せた規則的ナノ球の製造

Fabrication of ordered nanospheres using a combination of nanoimprint lithography and controlled dewetting

著者 (4件)： SCHLEUNITZ Arne (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  SPREU Christian (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  LEE Jaejong (Korean Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusung-ku, Daejeon 305-600, KOR) ,  SCHIFT Helmut (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： C6M41  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱リフローと凝固により,ナノインプリントした線構造から半球ドット配列を製造した。ナノインプリントスタンプの幅100nmの線空洞の随所に節を付加して,凝固を制御し,ほぼ完全に脱湿潤した線を持つ,自己秩序化した高規則度のドット行列を得た。大きさと線の位置に沿った距離がほぼ同じドットの形成は,この凝固効果が幾何構造と表面エネルギーによってのみ制限されることを示した。熱的後処理により,制御した方法で,単純なレジスト予備成形物をより複雑なパターンへ変換できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  湿潤 ,  *パターン形成 ,  熱処理 ,  *ミクロスフェア ,  微細加工
準シソーラス用語： *ナノインプリントリソグラフィー ,  脱湿潤 ,  *ナノ球

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノインプリントリソグラフィー ,  湿潤 ,  規則 ,  ナノ球