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J-GLOBAL ID：201002248861848650   整理番号：10A0379431

液中微小ギャップにおける放電初期過程の光学的測定による評価

Characterization of the Initial Stage of Discharges between Micro-gap in Liquid using Optical Measurement

著者 (4件)： 金丸誠 (東京工業大学大学院) ,  反町昇平 (東京工業大学大学院) ,  井深真治 (東京工業大学大学院) ,  石井彰三 (東京工業大学大学院)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 130  号： 4  ページ： 313-318 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細放電加工へ適用する目的で,液中微小ギャップにおける放電路の形成と放電の発光特性を調べた。放電実験はタングステン線と平面銅電極を精製水もしくは硫酸ナトリウム溶液中に入れ,電極間距離を200~800μmと変化させて行った。破壊前駆時の現象はレーザシャドウグラフ法により観察した。液中微小ギャップ間にパルス電圧を印加すると,1μs程度の放電遅れが生じることから,放電路の形成は電極の極性,導電率,電界分布により影響を受けることが判明した。放電発光スペクトルの解析から発光種を特定し,液中高電圧パルス放電が連続スペクトルとなることを調べた。全路破壊後1μs程度の間は連続スペクトルとなり,放電と液体の接触により黒体輻射発生の可能性を指摘した。スペクトル線の強度比より銅の励起温度も算出した。

シソーラス用語： *微細加工 ,  放電ギャップ ,  放電路 ,  光学的測定
準シソーラス用語： *マイクロギャップ ,  *マイクロ放電加工 ,  *液中 ,  *発光スペクトル分析 ,  *発光特性

分類 (2件)： 液体・固体中の放電  (BJ03030E) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (14件)：

• NOMURA, S. Discharge Characteristics of Microwave and High-Frequency In-Liquid Plasma in Water. Appl. Phys. Express. 2008, 1
• SCHOENBACH, K. Electrical breakdown of water in microgaps. Plasma Sources Sci. Tech. 2008, 17, 1-10
• LOCKE, B. R. Electrohydraulic Discharge and Nonthermal Plasma for Water Treatment. Ind. Eng. Chem. Res. 2006, 45, 882-905
• SATO, K. Pulsed Discharge Development in Oxygen, Argon, and Helium Bubbles in Water. IEEE Trans. Plasma Sci. 2008, 36, 4, 1144-1145
• SHIRAI, N. Self-Organization Pattern in the Anode Spot of an Atmospheric Glow Microdischarge using an Electrolyte Anode and Axial Miniature Helium Flow. Appl. Phys. Express. 2009, 2

タイトルに関連する用語 (7件)： 液中 ,  微小ギャップ ,  放電 ,  初期 ,  過程 ,  光学的測定 ,  評価