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J-GLOBAL ID：201002250005640325   整理番号：10A0511006

高密度のサブ20nm構造のナノ作製のための高分解PFPEモールディング法 基礎材料アプローチ

High-Resolution PFPE-based Molding Techniques for Nanofabrication of High-Pattern Density, Sub-20 nm Features: A Fundamental Materials Approach

著者 (7件)： WILLIAMS Stuart S. (Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina) ,  RETTERER Scott (Oak Ridge National Lab., Tennessee) ,  LOPEZ Rene (Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina) ,  RUIZ Ricardo (Hitachi Global Storage Technol., California) ,  SAMULSKI Edward T. (Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina) ,  DESIMONE Joseph M. (Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina) ,  DESIMONE Joseph M. (North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 10  号： 4  ページ： 1421-1428  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ペルフルオロポリエーテル(PFPE)系エラストマを用いる高分解能レプリカモールディング法を検討した。表面張力を<25mN/mと低く保ち,弾性率を変えた一連の高分子材料を開発した。大面積(>4in²)のマスターテンプレートを用いて物性が分解能に及ぼす影響を調べた。マクロモノマ分子量の調節,マクロモノマの官能性の調節,小分子架橋剤との複合化によりサブ20nm構造の成型が可能となった。電子ビームリソグラフィーにより作製したサブ100nmグレーティングをマスターテンプレートとして高モジュラスのPFPEテトラメタクリレート(TMA)複合物がクラック,断裂などの欠陥なしに複製構造を与えることを確かめた。

シソーラス用語： *成形 ,  ナノ構造 ,  *フッ素化重合体 ,  *ポリエーテル ,  ゴム ,  レプリカ ,  成形性 ,  空間分解能 ,  鋳型反応 ,  分子量 ,  官能化 ,  架橋剤 ,  弾性係数 ,  加工欠陥 ,  回折格子 ,  カルボン酸エステル ,  ビニル化合物 ,  脂肪族カルボン酸 ,  不飽和カルボン酸 ,  *ナノメータ加工 ,  分子構造 ,  マクロモノマ
準シソーラス用語： マクロマ ,  アクリル酸エステル ,  エラストマ ,  テンプレート【鋳型反応】 ,  ナノ加工 ,  *マイクロモールディング ,  官能性化 ,  弾性率 ,  ペルフルオロポリエーテル

分類 (2件)： その他の成形  (YH04090Q) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  作製 ,  高分解 ,  PFPE ,  モールディング ,  基礎材料