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J-GLOBAL ID：201002250521054300   整理番号：10A0632490

石英中のマイクロ-ホールを研磨するための電気放電機械加工されたマイクロ-工具の電気泳動析出特性

Electrophoretic deposition characteristics of an electrical discharge machined micro-tool for micro-hole polishing in quartz

著者 (5件)： YANG Cheng-Kuang (National Central Univ., Chung-Li, TWN) ,  HUNG Jung-Chou (Metal Ind. Res. and Dev. Centre, Taichung, TWN) ,  CHENG Chih-Ping (Industrial Technol. Res. Inst., Shin-Chu, TWN) ,  LIN Wan-Ti (National Central Univ., Chung-Li, TWN) ,  YAN Biing-Hwa (National Central Univ., Chung-Li, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 5  ページ： 055031,1-9  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 石英はその有利な特性のためにMEMSに用いられる重要な材料である。複雑なマイクロ構造物を製作するための基本的構造はマイクロ-ホールであるが,石英は硬くて脆い材料であり研磨が難しく破損しやすいため,従来の方法を用いて100μmくらいの直径のマイクロ-ホールを石英中に加工するのは困難であった。本論文では,電気泳動析出(EPD)によってSiC粒子でおおわれたマイクロ-工具により石英中でマイクロ-ホール研磨を試験した。マイクロ-工具は,ワイヤ放電グラインディング(WEDG)によって製作し,100μmの直径を有する。SiC粒子の層をEPDによってマイクロ-工具にコーティングした。良好な研磨結果を得るために,EPDにより均一で安定な層を得るための最適パラメーターを最初に探索した。EPDの後,マイクロ-工具は超音波振動機械を使って石英中のマイクロホールの研磨に用いた。その結果,マイクロ-ホールの表面の粗度を0.48μmから0.08μmに改善することができた。

シソーラス用語： *石英 ,  穴 ,  *研磨 ,  工具 ,  堆積 ,  炭化ケイ素 ,  粗度 ,  *電気泳動堆積
準シソーラス用語： SiC ,  *マイクロ-ホール ,  マイクロ-工具 ,  *電気泳動析出

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 石英 ,  ホール ,  研磨 ,  電気放電 ,  機械加工 ,  工具 ,  電気泳動析出