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J-GLOBAL ID:201002250570595821   整理番号:10A1623856

テルビウムプラズマに基づく短波長極端紫外光源のスペクトルと変換効率の理論研究

Theoretical investigation of the spectrum and conversion efficiency of short wavelength extreme-ultraviolet light sources based on terbium plasmas
著者 (6件):
資料名:
巻: 97  号: 23  ページ: 231501  発行年: 2010年12月06日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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レーザ生成テルビウムプラズマの発光スペクトルと変換効率を計算原子データに基づいて理論的に調べた。理論計算したスペクトルはλ=6.5nmにおける観測スペクトルの主ピークを再現した。このピークはパラジウム様イオン(Tb19+)付近の4d-4f遷移に起因する。テルビウムプラズマの等温膨張の簡単なモデルは,λ=13.5nmにおける錫光源と共に用いられるものよりも約一桁強い強度でレーザパルスによりプラズマをポンピングして,効率的発光を達成できることを示唆した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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光源,照明器具 

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