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J-GLOBAL ID：201002250742062049   整理番号：10A0391048

いくつかの元素添加によるDLC膜の摩擦性能の改良

Modification of tribological performance of DLC films by means of some elements addition

著者 (2件)： MOOLSRADOO Nutthanun (Nippon Inst. of Technol., 4-1 Gakuendai, Miyashiro Machi, Saitama 345-8501, JPN) ,  WATANABE Shuichi (Nippon Inst. of Technol., 4-1 Gakuendai, Miyashiro Machi, Saitama 345-8501, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 5-6  ページ： 525-529  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： C₂H₂:H₂,C₂H₂:CF₄およびC₂H₂:SF₆混合物から作製した元素添加ダイアモンドライクカーボン膜(水素,フッ素および硫黄)を用いて,プラズマベースのイオン注入(PBII)により作製した膜の堆積と摩擦特性に対する元素濃度の影響と比較し研究を行った。膜の構造をラマン分光により分析した。膜の硬度と弾性率をナノインデンテーション硬度試験により測定した。膜の接触角と表面エネルギーを接触角測定により測定した。膜の摩擦評価はボールオンディスク摩擦試験機を用いて行った。結果として,元素濃度の増大に伴って,全ての膜の表面エネルギー,硬度および弾性率は小さくなり,一方で表面角度は大きくなる傾向を示した。さらに,C:H流速比1:4におけるH-DLC膜は大気下で摩擦係数0.08を示した。それは摩擦特性の著しい改善である。これは,界面上の移動膜の形成と高い水素濃度に因る。F-DLC膜およびS-DLC膜に対しては,大気下でフッ素および硫黄濃度と共に摩擦係数の著しい低下は示さない。摩擦係数の低下は大気下よりも高真空下で大きい。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *DLC膜 ,  ドーパント ,  水素 ,  フッ素 ,  硫黄 ,  製膜 ,  プラズマCVD ,  イオン注入 ,  特性 ,  トライボロジー ,  硬度 ,  弾性係数 ,  摩擦係数
準シソーラス用語： 摩擦特性

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 元素 ,  DLC膜 ,  摩擦