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J-GLOBAL ID：201002253844118633   整理番号：10A1144009

放電電圧の高次高調波の測定によるマグネトロンターゲットポイズニングのモニタリング

Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

著者 (2件)： DVORAK P (Masaryk Univ., Brno, CZE) ,  VASINA P (Masaryk Univ., Brno, CZE)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 19  号： 5  ページ： 055016,1-8  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性マグネトロンスパッタリングでは安定性が重要で,薄膜堆積の最適実験条件は通常金属モードから化合物モードへの急峻な転移点にきわめて接近している。従って高速で所定の条件にフィードバック制御するには,プロセスの的確なモニタが必要となる。放電電圧の高次高調波成分の振幅を測定するモニタ法の有効性を実験により調べた。高調波成分はプラズマ中の非補償プローブ,あるいはRF発振器・スパッタターゲット間のケーブル上で測定する。このモニタ法は,他の電気的な量を測定する方法に比べて優れていることを実証する。モードが転移する条件で高調波成分の振幅が大きくなる物理的過程を考察し,その要因は圧力変化あるいはガス組成の変化に起因することを明らかにする。

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *高調波 ,  最適化 ,  電圧 ,  フィードバック制御 ,  *最適制御
準シソーラス用語： *プロセスモニタリング ,  放電電圧

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 放電電圧 ,  高次高調波 ,  モニタリング