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J-GLOBAL ID：201002253954433186   整理番号：10A0843271

超臨界流体と表面処理技術 超臨界二酸化炭素を用いた電気化学的ナノプレーティング

著者 (1件)： 曽根正人 (東京工大 精密工研)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 61  号： 8  ページ： 561-565  発行年： 2010年08月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超臨界二酸化炭素および電解質溶液を界面活性剤とともに混合してエマルジョン化した流体を用いて行うめっき法(電気化学的ナノプレーティング;SNP)について解説した。超臨界二酸化炭素エマルジョンの電気伝導性,SNPにより形成しためっき皮膜の金属組織などの特性について説明した。超臨界二酸化炭素エマルジョンを用いた無電解めっき法について述べた。高分子表面へのめっき,半導体配線技術への応用などについて解説した。

シソーラス用語： 超臨界流体 ,  *二酸化炭素 ,  *電気めっき ,  無電解めっき ,  *めっき液 ,  高分子界面活性剤 ,  *乳濁液 ,  *めっき皮膜 ,  金属組織 ,  多孔質金属 ,  ポリイミド ,  *配線 ,  *超臨界二酸化炭素
準シソーラス用語： *銅配線

分類 (3件)： 電気めっき  (WC08023B) ,  表面処理  (YH04112X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (31件)：

• DARR, J. A. Chem. Rev. 1999, 99, 495
• BECKMAN, E. J. J. Supercrit. Fluids. 2004, 28, 11
• REVERCHON, E. J. Supercrit. Fluids. 2006, 37, 1
• SONE, M. Material Chemistry in Supercritical Fluids. 2005
• YOSHIDA, H. Chem. Lett. 2002, 11, 1086

タイトルに関連する用語 (5件)： 超臨界流体 ,  表面処理 ,  超臨界二酸化炭素 ,  電気化学 ,  プレーティング