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J-GLOBAL ID：201002254644111630   整理番号：10A0684867

化学蒸気浸透法でNaCl型SiC小結晶を埋め込んだ非晶質マトリックスで構成されたナノチューブアレイの合成

Synthesis of Nanotube Array Composed of an Amorphous Matrix Embedded with NaCl-Type SiC Crystallites by Chemical Vapor Infiltration Techniques

著者 (7件)： YANG Wen (National Inst. for Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  YANG Wen (China Inst. of Atomic Energy, Beijing, CHN) ,  SU Yanjing (Univ. Sci. and Technol. Beijing, Beijing, CHN) ,  ARAKI Hiroshi (National Inst. for Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  ABE Eiji (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUZUKI Hiroshi (National Inst. for Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  NODA Tetsuji (National Inst. for Materials Sci., Tsukuba, JPN)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 93  号： 6  ページ： 1557-1560  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 貫通孔アルミニウム陽極酸化膜をテンプレートに,CH₃SiCl₃を熱分解ガスに,H₂を希釈ガスに,それぞれ使用した,化学蒸気浸透法(温度1273K,全厚14.7kPa)で,ナノチューブアレイを作製した。XRD,SEM,TEM,電子エネルギー損失スペクトル,などで構造を解析した。ナノチューブのアレイは非晶質マトリックスに埋め込まれた,粒径が~2nmのNaClタイプのSiCの多結晶で,長さが10μm,外径が100nm,壁厚は,条件により10~15nmであった。

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  *配列 ,  *ナノチューブ ,  *微結晶 ,  アルミニウム ,  アノード酸化 ,  酸化膜 ,  アルミナ ,  型 ,  *CVI【浸透】 ,  有機ケイ素化合物
準シソーラス用語： テンプレート【型】 ,  *ナノチューブアレイ

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： トリメチルクロロシラン

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学蒸気浸透 ,  NaCl ,  SiC ,  結晶 ,  非晶質 ,  マトリックス ,  ナノチューブアレイ