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J-GLOBAL ID：201002255151377387   整理番号：10A0165031

黒鉛性炭素薄膜のマイクロ波プラズマ化学蒸着

Microwave plasma chemical vapor deposition of graphitic carbon thin films

著者 (4件)： MARCINEK Marek (Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA) ,  HARDWICK Laurence J. (Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA) ,  ZUKOWSKA Grazyna Z. (Fac. of Chemistry, Warsaw Univ. of Technol., ul. Noakowskiego 3, 00-664 Warsaw, POL) ,  KOSTECKI Robert (Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 48  号： 5  ページ： 1552-1557  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1段のマイクロ波プラズマ化学蒸着法により固体の有機前駆体から黒鉛性炭素の薄層を作製した。低圧Arプラズマと強い電磁放射は,比較的低い温度での有機前駆体の急速な蒸発と熱分解をもたらして,ナノメートルサイズの黒鉛化炭素粒子の均一膜を生成した。炭素膜の構造と形態は,走査電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡,Raman分光法を使用することで調べた。黒鉛性薄膜の電気電導率と構造との直接の相関が確立された。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *グラファイト ,  超薄膜 ,  製膜 ,  プラズマCVD ,  ナノ構造 ,  構造解析 ,  電気伝導率 ,  相関 ,  ポリスチレン ,  芳香族縮合炭化水素 ,  ポリアセン

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： アントラセン

タイトルに関連する用語 (3件)： 黒鉛 ,  炭素薄膜 ,  マイクロ波プラズマ化学蒸着