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J-GLOBAL ID：201002256160743392   整理番号：10A1146700

モリブデン箔の毒劇物フリー電解エッチング加工

著者 (1件)： 出口貴久 (埼玉県産業技術総合セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D32  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 毒劇物を含まないエチレングリコール系電解液を用いてモリブデン箔に微細孔を形成する電解エッチング加工技術の開発を行った。モリブデン板の電解研磨を行い,表面品質が良く,加工速度が速い電解液組成の検討を行った。その結果,エチレングリコールと水の比率が1:1で塩化ナトリウムとクエン酸を含む水溶液が適することが分かった。この電解液を用いてモリブデン箔に高品位な加工面を有する多数の微細貫通孔を形成した。(著者抄録)

シソーラス用語： *モリブデン ,  *電解エッチング ,  電解液 ,  細孔 ,  電解研磨 ,  塩化ナトリウム ,  *金属箔 ,  表面性状 ,  脂肪族アルコール ,  ジオール ,  脂肪族カルボン酸 ,  ヒドロキシ酸 ,  ポリカルボン酸
準シソーラス用語： 微細穴 ,  表面品質

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

物質索引 (2件)： エチレングリコール ,  クエン酸

タイトルに関連する用語 (5件)： モリブデン ,  箔 ,  毒 ,  劇物 ,  電解エッチング