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J-GLOBAL ID：201002256635733605   整理番号：10A0030770

大たわみ螺旋形状マイクロミラーアクチュエータ

Large-Deflection Spiral-Shaped Micromirror Actuator

著者 (4件)： SADAT Seid Hossein (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SADAT Seid Hossein (Univ. Michigan, MI, USA) ,  KAMIYA Daiki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HORIE Mikio (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 18  号： 6  ページ： 1357-1364  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自由空間光学スイッチング用に開発された2軸螺旋形状マイクロミラーマニピュレータを説明した。これは静電アクチュエータであり,従来の表面微細加工プロセスで製造される2つの部品より構成される。また従来のモノリシック自己組立設計法ではなく,2つの部品を「異なる2つのチップ上で個別に製造」して,空間的・機械的手法で組立てる。最大回転角を増やすため,螺旋形状電極のフレキシビリティと圧縮効果を利用して設計を行なった。デバイスの設置面積は600μm×600μm,マイクロピラミッドの高さは200μmである。スイッチ動作はエネルギー法でシミュレートして,電気機械モデルと連結した。作動電圧235Vで17°の連続回転動作が得られた。

シソーラス用語： *MEMS ,  マイクロマシニング ,  *マイクロアクチュエータ ,  渦巻ばね ,  光学素子 ,  光スイッチ ,  光交換 ,  反射鏡 ,  マニピュレータ ,  *マイクロミラー ,  マイクロマニピュレータ ,  ロボット
準シソーラス用語： 光スイッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (4件)： たわみ ,  螺旋 ,  マイクロミラー ,  アクチュエータ