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J-GLOBAL ID：201002257171588999   整理番号：10A0216994

SrTiO₃/ダイヤモンドの接合の作製と電気特性

Fabrication and electrical properties of SrTiO₃/diamond junctions

著者 (8件)： CHEN Guang-chao (Sensor Materials Center (SenMC), National Inst. for Materials Sci. (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, JPN) ,  CHEN Guang-chao (School of Material Sci. and Engineering, Univ. of Sci. and Technol. Beijing, Beijing 100083, CHN) ,  LIAO Meiyong (Sensor Materials Center (SenMC), National Inst. for Materials Sci. (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, JPN) ,  IMURA Masataka (International Center for Materials Nanoarchtechtonics (MANA), National Inst. for Materials Sci. (NIMS), 1-1 Namiki ...) ,  NAKAJIMA Kiyomi (Nano-Innovation Center (NICe), National Inst. for Materials Sci., (NIMS), 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JPN) ,  SUGIMOTO Yoshimasa (Nano-Innovation Center (NICe), National Inst. for Materials Sci., (NIMS), 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JPN) ,  KOIDE Yasuo (Sensor Materials Center (SenMC), National Inst. for Materials Sci. (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, JPN) ,  KOIDE Yasuo (Nano-Innovation Center (NICe), National Inst. for Materials Sci., (NIMS), 1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 4  ページ： 319-323  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波マグネトロンスパッタリングによって,チタン酸ストロンチウム(STO)膜をIb(100)単結晶ダイヤモンド上に直接蒸着した。蒸着時のSTO膜は非晶質状態にあった。一方,250°Cの蒸着温度と650°Cの後熱処理温度の最適条件下で,結晶性のSTO膜が得られた。p⁺タイプ単結晶ダイヤモンド基板に成長したホウ素ドープのホモエピタキシャル層上に,STO/ダイヤモンド接合を作製した。ダイヤモンドの表面停止を水素や酸素で変え,STO膜の結晶度を変えることによって,STO/ダイヤモンド接合の電気特性を調べた。非晶質のSTOはH-ダイヤモンド表面では準絶縁体のように機能することや非晶質のSTO/O-ダイヤモンド接合がSchottkyダイオードのように振る舞ったのがわかった。結晶性のSTO/O-ダイヤモンドは,複雑な整流挙動を示した。結晶性のSTO膜は,非晶質の膜と比べて,より高い誘電率を持っていた。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *半導体接合 ,  *チタン酸ストロンチウム ,  *ダイヤモンド ,  単結晶 ,  ドーパント ,  ホウ素 ,  マグネトロンスパッタリング ,  蒸着膜 ,  表面処理 ,  界面 ,  表面構造 ,  結晶化 ,  熱処理 ,  *ダイオード
準シソーラス用語： 界面構造

分類 (3件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  ダイオード  (NC03050R) ,  その他の接合  (BM03088W)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド ,  作製 ,  電気特性