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J-GLOBAL ID：201002257406971515   整理番号：10A1542849

自立したグラフェノイドナノ膜上の金属パターンの作成

Fabrication of metal patterns on freestanding graphenoid nanomembranes

著者 (6件)： BEYER Andre (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU) ,  TURCHANIN Andrey (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU) ,  NOTTBOHM Christoph T. (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU) ,  MELLECH Nils (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU) ,  SCHNIETZ Mark (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU) ,  GOELZHAEUSER Armin (Physics of Supramolecular Systems and Surfaces, Univ. of Bielefeld, 33615 Bielefeld, DEU)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： C6D5  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自立した極めて薄い台上の金属パターンは現在の光学,あるいはナノメカニクスにおける多数の応用で望ましい。著者らは,自己集合単層から1nm厚の自立したグラフェノイドナノ膜で支持された金パターンを生成する4種類の作成経路を紹介した。2種類の作成スキームではレジストを使ったリソグラフィープロセスを適用して,ナノシート上に金構造を定義する。次に金/ナノ膜ハイブリッドはそれらの基板から解放して,自立した構造を形成する。さらに別の2種類の作成スキームでは,自立したグラフェノイド上へ金属の直接蒸着を行う。4種類すべてのスキームは2次元ナノ材料上に金パターンを生成することができ,自由に動く金属構造のルーチン作成を行う新しい経路と似ている。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *自己集合 ,  薄膜 ,  金 ,  *パターン形成 ,  ナノ構造 ,  パターン転写 ,  フォトレジスト ,  炭素材 ,  フォトリソグラフィー ,  *ナノシート
準シソーラス用語： *ナノ膜 ,  自立膜

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (1件)： 自立