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J-GLOBAL ID：201002259507321247   整理番号：10A1607653

二つの衝撃プラズマ発生周波数のIPD法によりTiNコーティングの形態

Morphology of the TiN coatings obtained by the IPD method with two frequencies of impulse plasma generation

著者 (3件)： CHODUN Rafal ,  NOWAKOWSKA-LANGIER Katarzyna ,  ZDUNEK Krzysztof
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 1  ページ： S28-S31  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では二つの異なるプラズマ衝撃発生周波数の衝撃プラズマ蒸着(IPD)法で作製したコーティングの構造を比較した。コントロール材料としてTiNコーティングを選定した。層の形態とトポグラフィを走査型電子顕微鏡(SEM)と透過型電子顕微鏡(TEM)で調べた。結果から,プラズマ発生周波数が0.25から4Hzへ増加すると凝集と結晶化プロセスが強化された。更に,HF IPDプロセスの場合,プラズマ衝撃数の増加は寸法の目に見える変化は無いが凝集数が増加した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *プラズマCVD ,  *蒸着膜 ,  *セラミック被覆 ,  高速度鋼 ,  周波数 ,  トライボロジー ,  形態 ,  トポグラフィー【形態】 ,  凝集 ,  結晶化 ,  放電 ,  プラズマ応用 ,  ナノ結晶 ,  プラズマ ,  HF【周波数】
準シソーラス用語： インパルスプラズマ蒸着 ,  プラズマ周波数 ,  プラズマ放電 ,  高周波プラズマ ,  *衝撃プラズマ蒸着 ,  *窒化チタン

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 衝撃 ,  プラズマ発生 ,  IPD ,  TiN ,  コーティング ,  形態