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J-GLOBAL ID：201002259734503785   整理番号：10A0731749

最適勾配法に基づく適応探索アルゴリズムを用いた現実的フェーズに対する究極的に正確なSRAF置換

Ultimately accurate SRAF replacement for practical phases using an adaptive search algorithm based on the optimal gradient method

著者 (11件)： MAEDA Shimon (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  NOSATO Hirokazu (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MATSUNAWA Tetsuaki (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  MIYAIRI Masahiro (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  NOJIMA Shigeki (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  TANAKA Satoshi (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  SAKANASHI Hidenori (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MURAKAWA Masahiro (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAITO Tamaki (Toshiba Microelectronics Corp., Kanagawa, JPN) ,  HIGUCHI Tetsuya (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  INOUE Soichi (Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7640  号： Pt.1  ページ： 764018.1-764018.12  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最適勾配法を用いて極めて正確な新しいサブ解像度補助パターン(SRAF)置換法を提案した。この方法ではSRAFの初期位置を従来のSRAF置換により生成し,リソグラフィーシミュレーションを評価して適応アルゴリズムにより調整する。本方法は精度,効率,企業の適用性が優れている。シミュレーションはプロセスウィンドウを考慮した実際の計算モデルを用いるので,SRAF位置を正確に調整できる。適応アルゴリズムは最適勾配法に基づくので,SRAF位置を高効率で調整できる。本方法は確立されたワークフローに容易に応用できる。

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  *パターン形成 ,  *超解像 ,  計算機シミュレーション ,  許容範囲 ,  計算モデル ,  方式 ,  *フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： *適応アルゴリズム ,  *サブ解像度補助パターン ,  プロセスウィンドウ ,  プロセス窓 ,  最適勾配法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 勾配法 ,  適応 ,  探索アルゴリズム ,  フェーズ ,  SRAF ,  置換