文献

J-GLOBAL ID：201002260872434121   整理番号：10A1012997

チップに取付けた先端(tip-on-chip)を使った原子間力顕微鏡法画像化 統合近接場ナノツールへのドアを開ける

Atomic force microscopy imaging using a tip-on-chip: Opening the door to integrated near field nanotools

著者 (8件)： HAYTON J. (UMR 5819 SPrAM (CEA-CNRS-UJF), CEA-Grenoble, INAC, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  POLESEL-MARIS J. (CEA-Saclay, DSM-IRAMIS-SPCSI, FR-91191 Gif sur Yvette, FRA) ,  DEMADRILLE R. (UMR 5819 SPrAM (CEA-CNRS-UJF), CEA-Grenoble, INAC, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  BRUN M. (CEA-Grenoble LETI-MINATEC, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  THOYER F. (CEA-Saclay, DSM-IRAMIS-SPCSI, FR-91191 Gif sur Yvette, FRA) ,  LUBIN C. (CEA-Saclay, DSM-IRAMIS-SPCSI, FR-91191 Gif sur Yvette, FRA) ,  COUSTY J. (CEA-Saclay, DSM-IRAMIS-SPCSI, FR-91191 Gif sur Yvette, FRA) ,  GREVIN B. (UMR 5819 SPrAM (CEA-CNRS-UJF), CEA-Grenoble, INAC, 17 Rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, FRA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 81  号： 9  ページ： 093707  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡法(AFM)画像がメゾスコピック先端を組込んだマクロ的ケイ素ベースのチップによってどのように日常的に実施でき,AFM画像化とチップに組込んだあらゆる種類の機能性とを組合せた新しい近接場装置の開発への道筋を整えるかについて詳細に説明した。チップは,Qplus構成で取り付けた100kHz石英音叉の自由フォークの端部に接着した。モード解析による数値シミュレーションを行い,実験スペクトルで観察された振動モードの解明を図った。超高真空の下,振幅変調ならびに周波数変調AFMにおいて,二つの低周波数モードを使ってシステムを駆動し,大きな安定性を保ちながら表面を走査できることを示した。AFMの能力は,位相および散逸コントラスト画像化,力分光法および基質と弱い相互作用を持つ軟質試料の研究など,一連の事例によって実証した。集束イオンビーム蒸着で成長した先端による横分解能は,標準振幅変調モードAFM実験で達成したものと既に整合した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  撮像 ,  画像 ,  近接場 ,  端部 ,  半導体チップ ,  組合せ ,  モード解析 ,  シミュレーション ,  音叉 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： 機能性

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (8件)： TIP ,  CHIP ,  原子間力顕微鏡法 ,  画像化 ,  統合 ,  近接場 ,  ツール ,  ドア