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J-GLOBAL ID：201002262709314600   整理番号：10A0700265

原子層沈着(ALD)による希土類スカンジウム酸塩薄膜 希土類カチオンサイズの効果

Rare earth scandate thin films by atomic layer deposition: effect of the rare earth cation size

著者 (8件)： MYLLYMAEKI Pia (Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN) ,  ROECKERATH Martin (JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU) ,  LOPES Joao Marcelo (JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU) ,  SCHUBERT Juergen (JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU) ,  MIZOHATA Kenichiro (Univ. Helsinki, FIN) ,  PUTKONEN Matti (Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN) ,  PUTKONEN Matti (Beneq Oy, Vantaa, FIN) ,  NIINISTOE Lauri (Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 20  号： 20  ページ： 4207-4212  発行年： 2010年05月28日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三成分REScO₃薄膜を,β-ジケト酸型前駆体及びオゾンを用いてALDにより沈着させた。300°Cで膜の成長速度はRE³⁺カチオン半径の増大とともに増大する。同時に,膜中に存在する炭素不純物の量はRE³⁺カチオン径及びカチオンの塩基性の増大とともに増大することを見いだした。DyScO₃は最初立方晶固溶体として結晶化するが,1000°Cでのアニール後ペロブスカイト相が検出される。相転移点近傍でのペロブスカイト相の結晶化温度は800-1000°Cと高いが,RE³⁺カチオン径が低下すると急速に低下し,固溶体が有利となる。

シソーラス用語： *スカンジウム化合物 ,  金属酸化物 ,  *希土類元素化合物 ,  *サイズ効果 ,  酸化物 ,  *薄膜 ,  成長速度 ,  *薄膜成長 ,  転移温度 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  ジスプロシウム化合物 ,  化学蒸着 ,  赤外吸収スペクトル
準シソーラス用語： *稀土類化合物 ,  原子層蒸着 ,  酸化物薄膜 ,  相転移点

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 原子層 ,  沈着 ,  ALD ,  希土類 ,  スカンジウム酸塩 ,  薄膜 ,  カチオン ,  サイズ