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J-GLOBAL ID：201002264367068094   整理番号：10A0870089

屈曲性透明電極用のAg薄層挿入GZO多層のロール・ツー・ロール蒸着法成長

Thin Ag Layer Inserted GZO Multilayer Grown by Roll-to-Roll Sputtering for Flexible and Transparent Conducting Electrodes

著者 (3件)： PARK Yong-Seok (Kyung Hee Univ., Gyeonggi, KOR) ,  KIM Han-Ki (Kyung Hee Univ., Gyeonggi, KOR) ,  KIM Sang-Woo (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 157  号： 8  ページ： J301-J306  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化物透明導電体電極に屈曲性を与えるためポリエーテルスルホン基板に銀層を挿入したナノ多層Gaドーピング酸化亜鉛(GZO)をロール・ツー・ロール蒸着で成長させた。銀の層厚を12nmに最適化したGZO/Ag/GZO(GAG)はアニーリングなしで電気抵抗率が5.58×10^-5Ωcmで光透過率87.2%であった。銀層を厚くするとキャリア移動度が急増し,抵抗は減るが散乱が激しく透明度が落ちる。曲げによる抵抗変化は繰返し曲げ試験での曲げ半径に依存するが,試験後でも表面モルフォロジーも抵抗も一定である。この方法で経済性が高い柔軟な表示素子や光電池が作れるであろう。

シソーラス用語： *透明電極 ,  透明材料 ,  *化合物半導体 ,  *酸化物 ,  *屈曲度 ,  曲げ ,  *柔軟性 ,  ポリエーテルスルホン ,  基板 ,  *生産方式 ,  *スパッタ蒸着 ,  *銀 ,  *酸化亜鉛 ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  *ガリウム ,  ドーピング ,  多層膜 ,  薄膜成長 ,  サンドイッチ構造 ,  膜厚 ,  層厚 ,  最適化 ,  電気抵抗率 ,  透過率 ,  透光性 ,  透明度 ,  光散乱 ,  トレードオフ ,  繰返し試験 ,  品質変化 ,  半径 ,  表面構造 ,  原価低減 ,  シート抵抗 ,  キャリア移動度 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ薄膜 ,  *ロール・ツー・ロール方式 ,  曲げ半径 ,  *屈曲性 ,  *透明導電性酸化物 ,  薄層 ,  表面モルフォロジー ,  有機基板

分類 (5件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (9件)： 屈曲性 ,  透明電極 ,  Ag ,  薄層 ,  GZO ,  多層 ,  ロール・ツー・ロール ,  蒸着 ,  成長