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J-GLOBAL ID：201002264659105896   整理番号：10A1609473

円盤間狭領域流れの多次元可視化計測

著者 (7件)： 浜田博之 (筑波大 大学院) ,  金子暁子 (筑波大) ,  阿部豊 (筑波大) ,  池昌俊 (アプテックス) ,  藤森憲 (筑波大 産学リエゾン共同セ) ,  加藤健 (茨城県工技セ) ,  浅野俊之 (茨城県工技セ)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2010  号： Vol.7  ページ： 117-118  発行年： 2010年09月04日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体リソグラフィ工程におけるレジスト除去に高濃度オゾン水を用いる方法が提案されている。しかし,高濃度オゾン水を用いた場合レジスト除去速度が遅いため,レジスト除去速度を改善する必要がある。これを達成するためにはレジスト除去における流体の流動状況を把握することが重要である。本研究では円盤間の狭領域における流動構造の知見を得ることを目的とし,ステレオマイクロPTVの技術を用い,円盤間狭領域内流動場の2次元3成分速度計測の実現と計測誤差について検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： *隙間流 ,  流れ構造 ,  流れ場 ,  粒子追跡流速測定 ,  回転円板 ,  固定 ,  円板 ,  YAGレーザ ,  高速度カメラ ,  高次元 ,  *流れの可視化 ,  測定誤差 ,  *速度測定
準シソーラス用語： 多次元

分類 (2件)： 層流,乱流,境界層  (BC02030C) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 円盤 ,  流れ ,  多次元 ,  可視化 ,  計測