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文献
J-GLOBAL ID:201002264793805454   整理番号:10A0990702

微小変位領域における高速・高精度位置めを考慮した外乱フィードフォワード補償

著者 (3件):
資料名:
巻: 2010  号:ページ: II.389-II.392  発行年: 2010年08月24日
JST資料番号: L2177A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  電気式制御機器 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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