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J-GLOBAL ID：201002264906738325   整理番号：10A0683222

ナノスケール格子構造の線の輪郭粗さの定量化に用いたモチーフパラメータ

Motif Parameters Based Characterization of Line Edge Roughness of a Nanoscale Grating Structure

著者 (6件)： JIANG Zhuangde (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  JIANG Zhuangde (Univ. Birmingham,Birmingham, GBR) ,  ZHAO Fengxia (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  JING Weixuan (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  PREWETT Philip D. (Univ. Birmingham,Birmingham, GBR) ,  JIANG Kyle (Univ. Birmingham,Birmingham, GBR)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 437  ページ： 45-50  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では,ナノスケールの格子状構造の線の輪郭の粗さを定量化するためにモチーフパラメータを用いた。電子デバイスを中心に,集積度のアップに伴い,その大きさはどんどん小さくなっている。そのようなデバイスでは,ナノスケールオーダーの線の端の粗さを正確に評価する必要が生じてきた。これまでこの問題解決のため多くの研究がなされてきた。本報告では,ISO12085にあるモチーフ法を用い,そこにある粗さオペレータを求め,SEMによる方法と比較した。対象とするナノスケールの格子構造は,電子線リソグラフィーで作製した。

シソーラス用語： *格子構造 ,  *規模 ,  固体素子 ,  電子ビームリソグラフィー ,  走査電子顕微鏡 ,  表面粗さ ,  集積
準シソーラス用語： *SEM【顕微鏡】 ,  ナノスケール ,  *電子デバイス ,  *電子線リソグラフィー

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノスケール ,  格子構造 ,  輪郭 ,  粗さ ,  定量化 ,  モチーフ ,  パラメータ