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J-GLOBAL ID：201002265472545708   整理番号：10A0243407

超薄膜の表面エネルギーに関する研究 (有効分散成分理論の検証)

Study on Surface Energy of Ultra-thin Film (Verification of Effective Dispersion Component Theory)

著者 (3件)： MATSUOKA Hiroshige (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Tottori Univ.) ,  ONO Katsunori (Graduate School, Tottori Univ.) ,  FUKUI Shigehisa (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Tottori Univ.)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 4  号： 1  ページ： 391-396 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面エネルギーの超薄膜の厚さに対する依存性について,実験的ならびに理論的に調査した。固体基板上のLangmuir-Blodgett(LB)薄膜とペルフルオロポリエーテル(PFPE)潤滑剤を,超薄膜のサンプルとして使用した。フィルムの厚みの関数としての表面エネルギーを接触角度測定から実験的に得た。超薄膜の表面エネルギーの分散成分の理論式を,著者らにより提案された多層システムのための修正ファンデルワールス圧力方程式から導出した。理論値は実験値と一致することがわかった。この研究で提示された理論方程式は,固体基板上の超薄膜の表面エネルギーを予測するのに役立つと考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *超薄膜 ,  *表面エネルギー ,  van der Waals力 ,  *依存性 ,  Langmuir-Blodgett膜 ,  分散【dispersion】 ,  理論 ,  フッ素化重合体 ,  ポリエーテル ,  パーフルオロポリエーテル ,  *厚み依存性
準シソーラス用語： *厚さ依存性 ,  分散成分理論

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

引用文献 (6件)：

• (1) Matsuoka, H., Ohkubo, S., and Fukui, S., Corrected expression of the van der Waals pressure for multilayered system with application to analyses of static characteristics of flying head sliders with an ultrasmall spacing, Microsystem Technologies, Vol. 11 (2005), pp. 824-829, 10.1007/s00542-005-0541-5.
• (2) Waltman, R. J., The interactions between Z-Tetraol perfluoropolyether lubricant and amorphous nitrogenated- and hydrogenated-carbon surfaces and silicon nitride, Journal of Fluorine Chemistry, Vol. 125 (2004), pp. 391-400.
• (3) Suh, A. Y. and Polycarpou, A. A., Analytical determination of the surface energy of sub-5 nm head-disk interfaces accounting for multilayer effects, Journal of Applied Physics, Vol. 99 (2006), 08N111.
• (4) Matsuoka, H., Ono, K., and Fukui, S., A new evaluation method of surface energy of ultra-thin film, Microsystem Technologies, (2009), DOI 10.1007/s00542-008-0762-5.
• (5) Kaelble, D. H. and Uy, K. C., A Reinterpretation of Organic Liquid-Polytetrafluoroethylene Surface Interactions, Journal of Adhesion, Vol. 2 (1970), pp. 50-60.

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  表面エネルギー ,  研究 ,  分散成分 ,  理論 ,  検証