文献

J-GLOBAL ID：201002267653708067   整理番号：10A0264152

フィルタードアーク蒸着で形成したダイヤモンドライクカーボン膜の光学特性

Optical Properties of Various Diamond-Like Carbon Films Fabricated by Filtered Arc Deposition

著者 (6件)： 神谷雅男 (豊橋技科大) ,  神谷雅男 (伊藤光学工業) ,  川口祐輔 (豊橋技科大) ,  田上英人 (豊橋技科大) ,  須田善行 (豊橋技科大) ,  滝川浩史 (豊橋技科大)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 17  号： 2  ページ： 125-132  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は,高硬度,化学安定性といった優れた特性を有するので,種々の産業機器への応用が検討されている。そして,DLC膜の形成法の一つとして,真空アーク蒸着法をベースとしたフィルタードアーク蒸着法がある。本稿では,フィルタードアーク蒸着を用いて,WC-Co基板上に4種類のDLC膜を作成し,カロテスト計測,反射率計測,エリプソメトリ計測を実施して,成膜中心からの距離と膜厚との関係を求め,物体色と膜厚の関係などを評価した。この結果,DLC膜の視覚的な色は,膜厚が薄い方から,黄,赤,紫,青,緑の順で,繰り替えし変化し,更に,膜厚が薄いと彩度が高く,厚くなる程無彩色になり,灰色/黒に近づくことが分かった。また,幾何学的膜厚と分光反射率から求めた光学的膜厚と略一致し,更に,分光反射率から得た光学定数と分光エリプソメトリにより求めたものと略一致することが示された。これは,DLC膜の評価には,計測が容易な分分光反射率計測が有用であることを実証するものである。

シソーラス用語： *物理蒸着 ,  *アーク放電 ,  *DLC膜 ,  基板 ,  炭化タングステン ,  コバルト ,  複合体 ,  *反射率 ,  *偏光解析法 ,  計測
準シソーラス用語： フィルタードアーク蒸着 ,  カロテスト

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (11件)：

• J. Robertson: Diamond-like amorphous carbon, Mater. Sci. Eng. R, Vol.37(2002) pp. 129-281.
• M. Clapa, S. Mitura, P. Niedzielski, A. Karczemska, J. Hassard: Colour carbon coatings, Diam. Relat. Mater. Vol.10(2001) pp. 1121-1124.
• J. Xu, H. Fana, W. Liu, L. Hang: Large-area uniform hydrogen-free diamond-like carbon films prepared by unbalanced magnetron sputtering for infrared anti-reflection coatings, Diam. Relat. Mater, Vol.17(2008) pp. 194-198.
• W. S. Choi, K. Kim, J. Yi, B. Honga: Diamond-like carbon protective anti-reflection coating for Si solar cell, Mater. Lett., Vol.62(2008) pp. 577-580.
• M. Kamiya, H. Tanoue, H. Takikawa, M. Taki, Y. Hasegawa, M. Kumagai: Preparation of various DLC films by T-shaped filtered arc deposition and the effect of heat treatment on film properties, Vacuum, Vol.83(2009) pp. 510-514.

タイトルに関連する用語 (3件)： フィルタードアーク蒸着 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  光学特性