文献

J-GLOBAL ID：201002268551485426   整理番号：10A0122345

次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術 8.大面積プラズマCVDプロセスの開発最前線

著者 (1件)： 菅井秀郎 (中部大 工)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 86  号： 1  ページ： 28-32  発行年： 2010年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコン薄膜太陽電池の生産性向上のためには,微結晶シリコン膜の大面積(>4m²)・高速堆積(>2.5nm/s)技術の開発が不可欠である。そのプラズマCVD技術の研究開発の現状について,プラズマの大面積化・高密度化および光電変換効率向上の観点から,RFプラズマCVDとマイクロ波プラズマCVDを対比させて概観し,今後の課題について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *プラズマCVD ,  生産性向上 ,  *ケイ素 ,  *微結晶
準シソーラス用語： *シリコン太陽電池 ,  大面積 ,  *微結晶シリコン ,  RFプラズマ ,  マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  マイクロ波プラズマ ,  表面波プラズマ ,  薄膜太陽電池

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (17件)：

• ICHIKAWA, Y. Solar Energy Mat. Solar Cells. 2001, 66, 107
• HAUG, F.-J. Solar Energy Mat. Solar Cells. 2009, 93, 884
• 菅井秀郎. プラズマエレクトロニクス. 2000
• 菅井秀郎. 応用物理. 2001, 70, 398
• MATSUI, T. Solar Energy Mat. Solar Cells. 2006, 90, 3199

タイトルに関連する用語 (7件)： 次世代 ,  シリコン太陽電池 ,  プラズマ ,  大面積 ,  プラズマCVD ,  プロセス ,  開発