双周波数容量結合シラン放電におけるダスト粒子のシミュレーション

LIU Xiang-Mei; SONG Yuan-Hong; XU Xiang; WANG You-Nian

文献

J-GLOBAL ID：201002268690991549 整理番号：10A0776680

双周波数容量結合シラン放電におけるダスト粒子のシミュレーション

Simulation of dust particles in dual-frequency capacitively coupled silane discharges

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資料名：
巻： 81 号： 1,Pt.2 ページ： 016405.1-016405.8 発行年： 2010年01月
JST資料番号： W0493A ISSN： 1539-3755 CODEN： PLEEE8 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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