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J-GLOBAL ID：201002269331396747   整理番号：10A0496152

連続波ファイバレーザによる珪素の高品質の衝撃穿孔

High-quality percussion drilling of silicon with a CW fiber laser

著者 (4件)： YU Joe X. Z. (Queen’s Univ., Ontario, CAN) ,  WEBSTER Paul J. L. (Queen’s Univ., Ontario, CAN) ,  LEUNG Ben Y. C. (Queen’s Univ., Ontario, CAN) ,  FRASER James M. (Queen’s Univ., Ontario, CAN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7584  ページ： 75840W.1-75840W.7  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平均出力2.8W,パルス幅6.6μs,波長1070nmの準連続波ファイバレーザパルスを用いて,珪素の精密に切断した。干渉技術を用いて,切断時の情報を求め,工程の動力学をその場監視した。窒素アシストガスは穴の品質に大きく影響した。穴の直径は15μm台で,エッチング速度は最高18μm/パルスであった。パルス幅が広がると穴径が増し,アシストガスを用いない場合,熱に影響される領域が>25μmに広がった。パルス幅6.6μs,繰返し速度5kHzで最高の品質が得られた。

シソーラス用語： *ファイバレーザ ,  連続レーザ ,  ケイ素 ,  *レーザ穴あけ ,  *レーザパルス ,  パルス幅 ,  マイクロマシニング ,  気体 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： アシストガス

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 連続波 ,  ファイバレーザ ,  珪素 ,  高品質 ,  衝撃 ,  穿孔