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J-GLOBAL ID：201002269685743142   整理番号：10A0328985

回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形成分の補正-

著者 (3件)： 木村彰秀 (東北大) ,  GAO Wei (東北大) ,  ZENG Lijiang (清華大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E62  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *測定誤差 ,  *センサ ,  位置決め ,  補正 ,  光干渉
準シソーラス用語： *変位センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (11件)： 回折 ,  光干渉 ,  3軸 ,  サーフェス ,  エンコーダ ,  研究 ,  格子 ,  形状誤差 ,  マップ ,  計測誤差 ,  非線形