研究者
J-GLOBAL ID:200901053507837284   更新日: 2024年11月05日

高 偉

コウ イ | Gao Wei
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (2件): http://web.tohoku.ac.jp/nanometrology/index.htmlhttp://web.tohoku.ac.jp/nanometrology/eng/index.html?2018
研究分野 (3件): 加工学、生産工学 ,  機械要素、トライボロジー ,  設計工学
研究キーワード (5件): 光応用計測 ,  精密ナノ計測 ,  精密計測 ,  精密位置決め ,  形状と運動の精密計測
競争的資金等の研究課題 (28件):
  • 2024 - 2027 光周波数コムを用いたピコラジアン級次世代ファブリペロー絶対角度計測法の創出
  • 2022 - 2025 その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成
  • 2020 - 2024 光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測
  • 2015 - 2020 超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア
  • 2015 - 2019 2軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出
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論文 (507件):
  • Jiahui Lin, Hiraku Matsukuma, Kuangyi Li, Ryo Sato, Wei Gao. Improvement of angle measurement sensitivity using second harmonic wave interference. Optics Express. 2024. 32. 23. 40915-40915
  • Yifan Hong, Ryo Sato, Hiraku Matsukuma, Wei Gao. Design and testing of a two-axis surface encoder with a single Littrow configuration of a first-order diffraction beam. Precision Engineering. 2024
  • Ryo Sato, Chen Li, Hiraku Matsukuma, Wei Gao. A dual-detection chromatic confocal probe employing a mode-locked femtosecond laser. Optical Manufacturing and Testing 2024. 2024. 1-1
  • Ryo Sato, Kuangyi Li, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Wei Gao. Advanced Sensing and Machine Learning Technologies for Intelligent Measurement in Smart and Precision Manufacturing. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 4. 545-580
  • Tao Liu, Hiraku Matsukuma, Amane Suzuki, Ryo Sato, Wei Gao. An Improved Data Processing Algorithm for Spectrally Resolved Interferometry Using a Femtosecond Laser. Sensors. 2024. 24. 9. 2869-2869
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MISC (189件):
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特許 (43件):
書籍 (10件):
  • Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication
    Elsevier 2020
  • 計測工学 Measurement and Instrumentation
    朝倉書店 2017
  • Evaluation of Nanometer Cutting Tool Edge for Nanofabrication
    InTech 2011
  • Precision Nanometrology : Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing
    Springer 2010
  • Precision Control of Planar Motion Stages: Design and Implementation of Precision Motion Control Strategies
    VDM Verlag 2010
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講演・口頭発表等 (23件):
  • In-situ dimensional metrology of precision parts for smart manufacturing
    (2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing 2018)
  • FS-FTS: an innovation of fast tool servo for nano-fabrication and in-process measurement of large-area micro optics
    (The 14th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process 2018)
  • On-machine and in-process metrology for large-area microptics by using FS-FTS
    (4th CIRP Conference on Surface Integrity 2018)
  • Precision manufacturing metrology based on scanning probe systems
    (The 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2017)
  • In-situ, in-line, on-machine & in-process surface metrology of precision parts
    (39th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing 2017)
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学位 (1件):
  • 博士(工学) (東北大学)
受賞 (29件):
  • 2021/03 - 公益社団法人 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞
  • 2019/04 - 文部科学省 文部科学大臣表彰 科学技術賞(研究部門) 自律的校正法に基づく精密ナノ計測学の構築と応用の研究
  • 2019/03 - 公益社団法人精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞 Design and testing of a compact non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale grating
  • 2018/06 - 公財)工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞(論文賞) An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement
  • 2018/03 - (公社)精密工学会 精密工学会論文賞
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所属学会 (6件):
International Institution for Production Engineering Research (CIRP) ,  International Society for Nanomanufacturing ,  国際光学学会(SPIE) ,  日本機械学会 ,  米国精密工学会(The American Society for Precision Engineering) ,  精密工学会
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